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來源:TechSugar
行業(yè)專家表示,半導(dǎo)體行業(yè)在過去20多年時間里,光刻領(lǐng)域的進步,主要由特殊設(shè)備決定的;而在未來10年里,將過渡到“材料時代”。
美國耗材供應(yīng)商Entegris首席技術(shù)官James O'Neill表示,當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)掌控“更精細”工藝技術(shù)的角色,已經(jīng)從光刻設(shè)備遷移到用于硅晶圓加工的先進材料和清洗解決方案上。
O'Neill表示材料領(lǐng)域的創(chuàng)新,是推動半導(dǎo)體元件生產(chǎn)率提高的關(guān)鍵。
默克集團電子業(yè)務(wù)總經(jīng)理凱?貝克曼同樣支持上述觀點,表示未來10年會是“材料時代”。
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